......
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸是0.5um,无尘室等级应以特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。
无尘室等级标准
据查询无尘室等级标准的版本较多,于是小编就整理两个较常用的划分标准,分别是国际标准 IOS14644-1、中国标准 GB/T16292-1996,具体详情请看下表:
空气洁净度分级标准:IOS14644-1(国际标准)
空气洁净度等级(N) | 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子) | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | |
ISO Class 1 | 10 | 2 | ||||
ISO Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO Class 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO Class 4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
ISO Class 5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
ISO Class 6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
ISO Class 7 | 352000 | 83200 | 2930 | |||
ISO Class 8 | 3520000 | 832000 | 29300 |